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气体管道安装

气体管道（gas pipeline）包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。气体经鼓风机、压缩机、泵和锅炉等增压后，从管道的高压处流向低压处，也可利用气体自身的压力或重力输送。当气体的流量已知时，管径的大小取决于允许的流速或允许的摩擦阻力(压力降)。流速大时管径小，但压力降值增大。但泵和压缩机等动力设备的运行能耗费用增大。此外，如果流速过大，还有可能带来一些其他不利的因素。因此管径应根据建设投资、运行费用和其他技术因素综合考虑决定。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

实验室气体工程安装注意事项

　　（1） 管径为1/8的管路很细且特软，安装后不直，很不美观，建议管径为1/8的全部换成1/4，在二级减压器末端加一变径就可以了。

　　（2） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，甲i烷，氧气的已经减压器压力表量程为0—25Mpa，二级减压器为0—1.6 Mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 Mpa，二级减压器为0—0.25 Mpa。

　　（3） 氮气，Ar，压缩空气，氦气，氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种，一是正转钢瓶接头，另一是反转。大气瓶用的是反转，小气瓶用的是正转。

　　（4） 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。

　　（5） 气体管路应沿墙明设，以便安装维护。